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Pumpendruck und Förderhöhe: Prinzipien, Formeln und QEEHUA-Anwendungshandbuch
Die Halbleiterfertigung stellt extrem strenge Anforderungen an die Handhabung von Flüssigkeiten. Dies gilt insbesondere für Schritte wie Waferreinigung, Entwicklung, Ätzen, Reinraumbetrieb, Abwasserrückgewinnung und -entsorgung. Um die hohen Produktionsanforderungen zu erfüllen, sind zuverlässige Chemiepumpen unerlässlich – und dichtungslose Magnetpumpen spielen in all diesen Phasen eine entscheidende Rolle. 1. Waferreinigung Die verwendeten Chemikalien […]
